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[ 2021-05-05 ]

【申請專利】台灣發明，一種具有高矽/二氧化矽蝕刻的選擇比的矽蝕刻劑及其應用、成功申請專利、核准通過

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為其專利發明:【一種具有高矽/二氧化矽蝕刻的選擇比的矽蝕刻劑及其應用】
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